中微公司(688012)：刻蚀持续快速增长 薄膜沉积新品加快推进

　　投资要点：

   　　事件：公司发布2024 年年报及2025 年一季报，基本符合预期。2024 年公司营收90.7亿，同比增长44.7%；扣非归母净利润13.9 亿，同比增长16.5%；归母净利润16.2 亿，同比下滑9.5%。1Q25 公司营收21.7 亿，同比增长35.4%；归母净利润3.1 亿，同比增长25.7%；扣非归母净利润3.0，同比增长13.4%。

   　　刻蚀设备2024 年营收增速超5 成，预计订单持续增长。2024 年公司刻蚀设备实现收入72.77 亿元，同比增长54.7%，当前已覆盖95%以上的刻蚀应用。公司8 月23 日发布公告披露预计2024 年全年新签订单110~130 亿，较2023 年同比增长31.6%~55.5%。截至2025 年3 月末公司存货74.5 亿，较年初增长4.1 亿，合同负债30.7 亿，较年初增长4.8 亿，反映公司1Q25 订单维持持续增长。

   　　薄膜沉积设备LPCVD 逐步放量，EPI 已进入量产验证阶段。截至2024 年末，公司LPCVD薄膜设备累计出货量已突破150 个反应台，2024 年得到约4.76 亿元批量订单，其他二十多种导体薄膜沉积设备也将陆续进入市场，能够覆盖全部类别的先进金属应用；公司EPI设备已顺利进入客户端量产验证阶段，以满足客户先进制程中锗硅外延生长工艺的量产需求，2025 年一季度已完成多家先进逻辑器件与 MTM 器件（MEMS、CIS、功率射频器件等）客户的工艺验证。

   　　扩大量检测设备领域布局，加大投入子公司重点攻坚电子束量检测。2024 年11 月22 日，超微公司在上海临港成立，后12 月28 日、2025 年4 月18 日两次增资后，当前中微公司对超微公司出资7550 万元、持股比例47.2%，尹志尧先生持股比例7.8%。根据公司财报，全球半导体量检测设备市场规模从2016 年47.6 亿美元增长至2023 年128.3 亿美元，CAGR 为15.2%，市场空间广阔。超微公司重点开发电子束量检测设备，电子束量检测在先进制程中价值量占比相对更高。

   　　投资分析意见：维持盈利预测，维持“买入”评级。公司持续受益下游晶圆厂扩产，同时刻蚀设备国产化率预将进一步提升，薄膜沉积设备验证推进顺利，量检测设备有望未来贡献业绩增量。维持公司25-26 年并新增27 年盈利预测，预计公司2025~2027 年营收分别为120.9、157.9、198.9 亿，同比增速分别为33.4%、30.5%、26.0%，归母净利润分别为24.4、32.2、42.9 亿，同比增速分别为51.2%、31.8%、33.4%，对应动态市盈率分别为48、36、27 倍。仍维持“买入”评级。

   　　风险提示：需求低于预期影响晶圆厂扩产节奏；设备验证结果不达预期。